发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100583168(B1) 申请公布日期 2006.05.24
申请号 KR19990017955 申请日期 1999.05.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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