掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件

摘要

本发明公开了一种掩模组件，其被构造成防止掩模热变形并保持多个分开的图案掩模之间的间隙。根据一个实施例，该掩模组件包括：开口掩模，其具有在行或列上排列的多个第一开口；图案掩模，其包括多个单位图案掩模。在一些实施例中，可相对于开口掩模固定单位图案掩模的端部，该单位图案掩模包括被构造成与开口掩模的多个第一开口对齐的多个掩模图案单元。在一些实施例中，拉力被施加到单位图案掩模。

主权项

1、一种用于沉积平板显示器的薄膜的掩模组件，所述掩模组件包括：开口掩模，包括在行或列上排列的多个第一开口，所述行形成在第一方向上，所述列形成在第二方向上；图案掩模，包括多个单位图案掩模；其中，在所述第一方向或所述第二方向上通过将各单位图案掩模的两端固定到所述开口掩模，而使拉力施加到单位图案掩模。