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经营范围
发明名称
DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号
KR20060055763(A)
申请公布日期
2006.05.24
申请号
KR20040094909
申请日期
2004.11.19
申请人
SAMSUNG SDI CO., LTD.
发明人
RYU, SEOUNG YOON
分类号
H01L21/205;H01L21/66
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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