发明名称 CHUCK TABLE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR100585200(B1) 申请公布日期 2006.05.24
申请号 KR20050025609 申请日期 2005.03.28
申请人 HANMISEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 KWAK, NHO KWON;JUNG, HYUN GYUN
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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