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经营范围
发明名称
CHUCK TABLE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
KR100585200(B1)
申请公布日期
2006.05.24
申请号
KR20050025609
申请日期
2005.03.28
申请人
HANMISEMICONDUCTOR CO., LTD.
发明人
KWAK, NHO KWON;JUNG, HYUN GYUN
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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