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发明名称 PLASMA ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060054584(A) 申请公布日期 2006.05.23
申请号 KR20040093188 申请日期 2004.11.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 BAEK, DONG SEOK;KIM, MYOUNG WOON
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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