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发明名称
PHOTO-RESIST CONTAINER AND APPARATUS FOR FORMING A PHOTO-RESIST FILM HAVING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060054923(A)
申请公布日期
2006.05.23
申请号
KR20040093791
申请日期
2004.11.17
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
AHN, SUN YUL;KANG, KYONG RIM;KIM, JAE HO;KIM, YOUNG HO;RYU, JIN A;CHOI, WE SUN
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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