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发明名称 Resist Composition and Patterning Process
摘要
申请公布号 KR100582157(B1) 申请公布日期 2006.05.23
申请号 KR20010048635 申请日期 2001.08.13
申请人 发明人
分类号 C08F12/14;C08F20/12;C08F20/30;C08F220/30;C08K5/00;C08L33/04;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 C08F12/14
代理机构 代理人
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