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发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060054847(A) 申请公布日期 2006.05.23
申请号 KR20040093678 申请日期 2004.11.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHO, HONG JE;LIM, KWAN TACK;LEE, YOUNG SIG
分类号 H01L21/3063 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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