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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR SUPPORTING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR20060054713(A)
申请公布日期
2006.05.23
申请号
KR20040093372
申请日期
2004.11.16
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
LEE, HEE DONG
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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