发明名称 Manufacturing method of capacitor of the ferroelectric register
摘要
申请公布号 KR100583090(B1) 申请公布日期 2006.05.23
申请号 KR20030034708 申请日期 2003.05.30
申请人 发明人
分类号 G11C11/22;H01L21/8246;H01L27/105 主分类号 G11C11/22
代理机构 代理人
主权项
地址