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经营范围
发明名称
Novel Ester Compounds, Polymers, Resist Compositions and Patterning Process
摘要
申请公布号
KR100582630(B1)
申请公布日期
2006.05.23
申请号
KR20010021086
申请日期
2001.04.19
申请人
发明人
分类号
G03F7/004
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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