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发明名称
ION SOURCE AND ION IMPLANTER HAVING THE SAME
摘要
申请公布号
KR100584791(B1)
申请公布日期
2006.05.23
申请号
KR20050037836
申请日期
2005.05.06
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
EARM, HYUN SUB
分类号
H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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