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发明名称 METHOD FOR ALIGNMENT OF A MICRO OPTICAL SCANNER WITH DUAL COMB ELECTRODES AND A OFFSET MARK BEING USED FOR THE ALIGNMENT
摘要
申请公布号 KR20060054510(A) 申请公布日期 2006.05.22
申请号 KR20040093570 申请日期 2004.11.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, WON KYOUNG;KO, YOUNG CHUL
分类号 G02B26/10;G02B26/08 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人
主权项
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