APPARATUS FOR TREATING A SUBTRATE,申请号KR20050093769-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR TREATING A SUBTRATE
摘要
申请公布号	KR20060053995(A)	申请公布日期	2006.05.22
申请号	KR20050093769	申请日期	2005.10.06
申请人	DAI NIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.	发明人	SHIBAZAKI HIROSHI
分类号	H01L21/304;H01L21/68	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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