发明名称 LIQUID THIN FILM DRYING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060053508(A) 申请公布日期 2006.05.22
申请号 KR20040093890 申请日期 2004.11.17
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 BAE, JONG SUNG;JUNG, JIN SOO;CHUNG, DOO HAN;WON, MIN YOUNG;LEE, KUN JONG
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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