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发明名称
SUBSTRATE-LOADING INSTRUMENT HAVING THE FUNCTION OF HEATING A SUBSTRATE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100584189(B1)
申请公布日期
2006.05.22
申请号
KR20060011285
申请日期
2006.02.06
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
KOMATSU TOMOHITO
分类号
H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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