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发明名称 APPARATUS FOR PROCESSING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20060053444(A) 申请公布日期 2006.05.22
申请号 KR20040093136 申请日期 2004.11.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JUNG HUI
分类号 H01L21/02;H01L21/027 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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