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发明名称 Process and device for the wet-chemical treatment of silicon
摘要
申请公布号 KR100581619(B1) 申请公布日期 2006.05.22
申请号 KR20030071117 申请日期 2003.10.13
申请人 发明人
分类号 C23F1/08;C09K13/08;C23F1/24;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/308 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
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