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发明名称 FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20060054232(A) 申请公布日期 2006.05.22
申请号 KR20060031060 申请日期 2006.04.05
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TOSHIMA TAKAYUKI;KONISHI NOBUO;MIZUTANI YOJI
分类号 H01L21/3105;H01L21/00 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
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