发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLED TRANSIENT CAVITAION
摘要
申请公布号 KR20060051502(A) 申请公布日期 2006.05.19
申请号 KR20050087859 申请日期 2005.09.21
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.;INTERUNIVERSITAIR MICROELECTRONICA CENTRUM VZW (IMEC) 发明人 LEE, KUN TACK;HOLSTEYNS FRANK
分类号 H01L21/304;B01J19/10;B08B3/02;B08B3/12;H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址