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发明名称 INDEPENDENTLY MOVING SUBSTRATE SUPPORTS
摘要
申请公布号 KR20060050004(A) 申请公布日期 2006.05.19
申请号 KR20050061813 申请日期 2005.07.08
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 TINER ROBIN;KURITA SHINICHI
分类号 H01L21/68;G02F1/13 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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