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发明名称 LOAD PORT FOR CLEAN SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20060049464(A) 申请公布日期 2006.05.19
申请号 KR20050044717 申请日期 2005.05.27
申请人 TDK CORPORATION 发明人 SUZUKI HITOSHI;OKABE TSUTOMU;IGARASHI HIROSHI
分类号 H01L21/68;B65G65/34;H01L21/677 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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