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发明名称 VAPORIZER, GAS GENERATION APPARATUS AND SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20060051785(A) 申请公布日期 2006.05.19
申请号 KR20050090886 申请日期 2005.09.29
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 OKABE TSUNEYUKI;OKURA SHIGEYUKI
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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