| 发明名称 |
APPARATUS FOR CARRYING SUBSTRATES AND METHOD OF CARRYING SUBSTRATES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20060049511(A) |
申请公布日期 |
2006.05.19 |
| 申请号 |
KR20050047229 |
申请日期 |
2005.06.02 |
| 申请人 |
SHIBAURA MECHATRONICS CORP. |
发明人 |
NISHIBE YUKINOBU;ISO AKINORI;HARA SATORU;FUSE YOICHI |
| 分类号 |
B65G49/07;G02F1/13;B65G47/22;B65G47/30;B65G49/06;H01L21/027;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
