发明名称 POLISHING COMPOSITION AND POLISHING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060051110(A) 申请公布日期 2006.05.19
申请号 KR20050083707 申请日期 2005.09.08
申请人 K.K. FUJIMI INCORPORATED 发明人 SAKAMOTO KENJI
分类号 B24D3/34;B24B37/00;B24D3/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B24D3/34
代理机构 代理人
主权项
地址