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经营范围
发明名称
PHOTO- ENHANCED UV TREATMENT OF DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号
KR20060052438(A)
申请公布日期
2006.05.19
申请号
KR20050104855
申请日期
2005.11.03
申请人
WAFERMASTERS, INCORPORATED
发明人
YOO, WOO SIK
分类号
H01L21/02;H01L21/08
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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