发明名称 PHOTO- ENHANCED UV TREATMENT OF DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号 KR20060052438(A) 申请公布日期 2006.05.19
申请号 KR20050104855 申请日期 2005.11.03
申请人 WAFERMASTERS, INCORPORATED 发明人 YOO, WOO SIK
分类号 H01L21/02;H01L21/08 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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