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发明名称 DEFECT DETECTION APPARATUS AND DEFECT DETECTION METHOD
摘要
申请公布号 KR20060051443(A) 申请公布日期 2006.05.19
申请号 KR20050087504 申请日期 2005.09.21
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 ONISHI HIROYUKI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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