发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUFDAMPFEN EINES HOCHTEMPERATURSUPRALEITERS IM VAKUUM MIT KONTINUIERLICHER MATERIALNACHFÜHRUNG
摘要
申请公布号 DE50302842(D1) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 DE20035002842 申请日期 2003.10.15
申请人 THEVA DUENNSCHICHTTECHNIK GMBH 发明人 KINDER, HELMUT
分类号 C23C14/28;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/24;C23C14/30 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
地址