发明名称 |
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUFDAMPFEN EINES HOCHTEMPERATURSUPRALEITERS IM VAKUUM MIT KONTINUIERLICHER MATERIALNACHFÜHRUNG |
摘要 |
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申请公布号 |
DE50302842(D1) |
申请公布日期 |
2006.05.18 |
申请号 |
DE20035002842 |
申请日期 |
2003.10.15 |
申请人 |
THEVA DUENNSCHICHTTECHNIK GMBH |
发明人 |
KINDER, HELMUT |
分类号 |
C23C14/28;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/24;C23C14/30 |
主分类号 |
C23C14/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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