| 发明名称 |
CLEAN ROOM, LOCAL CLEANING SYSTEM, METHODS OF USE THEREOF, AND CLEAN ROOM MONITORING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060048360(A) |
申请公布日期 |
2006.05.18 |
| 申请号 |
KR20050050996 |
申请日期 |
2005.06.14 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. |
发明人 |
NAMIOKA YOSHIAKI;AOKI NORISHIGE;MIYATA TSUYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/02;F24F3/16;F24F7/06;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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