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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR20060049358(A) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 KR20050100969 申请日期 2005.10.25
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 OTTENS JOOST JEROEN;MERTENS JEROEN JOHANNES SOPHIA MARIA;DE JONG FREDERIK EDUARD;GOORMAN KOEN;MENCHTCHIKOV BORIS;VAN GOMPEL EDWIN AUGUSTINUS MATHEUS
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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