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发明名称 PLASMA SOURCE
摘要
申请公布号 KR20060047073(A) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 KR20040092904 申请日期 2004.11.15
申请人 K.C.TECH CO., LTD. 发明人 JUNG, SOO YEON;JANG, SUNG GEE;SHIN, IN CHEL
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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