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发明名称
APPARATUS, METHOD FOR SUPPORTING AND/OR THERMALLY CONDITIONING A SUBSTRATE, A SUPPORT TABLE, AND A CHUCK
摘要
申请公布号
KR20060049138(A)
申请公布日期
2006.05.18
申请号
KR20050099822
申请日期
2005.10.21
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
MERTENS JEROEN JOHANNES SOPHIA MARIA;VAN MEER ASCHWIN LODEWIJK HENDRICUS JOHANNES;OTTENS JOOST JEROEN;VAN GOMPEL EDWIN AUGUSTINUS MATHEUS
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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