发明名称 METHOD FORMING OXIDE SITE FOR MEASURING A THICKNESS OF LAYER
摘要
申请公布号 KR20060046876(A) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 KR20040092378 申请日期 2004.11.12
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PEAK, JONG SUN;LEE, SANG KIL;LEE, BYUNG AM;PARK, SANG YEOL;LEE, JIN WOO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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