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发明名称 EMITTER FOR AN ION SOURCE AND METHOD OF PRODUCING SAME
摘要
申请公布号 KR20060048812(A) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 KR20050068373 申请日期 2005.07.27
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 PILZ WOLFGANG;BISCHOFF LOTHAR
分类号 H01J37/08;H01J27/26 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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