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经营范围
发明名称
HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号
KR20060048613(A)
申请公布日期
2006.05.18
申请号
KR20050056236
申请日期
2005.06.28
申请人
ESPEC CORP.
发明人
YASAKA MASAO
分类号
H01L21/324;H01L21/02
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
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