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经营范围
发明名称
PLASMA CVD APPARATUS
摘要
申请公布号
KR20060048976(A)
申请公布日期
2006.05.18
申请号
KR20050069848
申请日期
2005.07.29
申请人
TOKKI CORPORATIO
发明人
MIYAMOTO HIDEKAZU
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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