发明名称 PLASMA CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060048976(A) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 KR20050069848 申请日期 2005.07.29
申请人 TOKKI CORPORATIO 发明人 MIYAMOTO HIDEKAZU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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