| 发明名称 |
SUBSTRATES PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060049418(A) |
申请公布日期 |
2006.05.18 |
| 申请号 |
KR20050053501 |
申请日期 |
2005.06.21 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
YAMASHITA MASAMI;NAKASHIMA SEIJI |
| 分类号 |
H01L21/02;C23C16/00;C23F1/00;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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