发明名称 SURFACE EMITTING SEMICONDUCTOR LASER, AND ITS MANUFACTURING METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF ELECTRON DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060048158(A) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 KR20050047633 申请日期 2005.06.03
申请人 SONY CORPORATION 发明人 WATANABE YOSHIAKI;NARUI HIRONOBU;KUROMIZU YUICHI;YAMAUCHI YOSHINORI;TANAKA YOSHIYUKI
分类号 H01L21/316;H01S5/18;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;H01S5/00;H01S5/042;H01S5/183;H01S5/22 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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