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Eine Vorrichtung dient zum Bearbeiten von Werkstücken (11) einer Vakuumkammer (12), die wenigstens eine Schleusenstation (16) und wenigstens eine Bearbeitungsstation (18) mit einer Bearbeitungsvorrichtung (20) aufweist. Eine Transfervorrichtung (21) mit einem Halter (28, 30) zur Aufnahme der Werkstücke (11) transportiert diesen zwischen den Stationen (16, 18), wobei der wenigstens eine Halter (28, 30) mit einer umlaufenden Wandung (32) versehen ist, die in der Schleusenstation (16) mittels einer relativen Andruckbewegung in eine Dichtstellung beweglich ist, in welcher die Schleusenkammer (44) gegen das Innere der Vakuumkammer (12) abgedichtet ist. Zur Minimierung des Weges der Anpreßbewegung ist vorgesehen, daß eine Wandung (36) jedes Halters sich wenigstens in Teilbereichen im wesentlichen über die gesamte Höhe der zu bearbeitenden Werkstücke erstrecken und eine Öffnung (36) aufweist, durch die in der Bearbeitungsstation (18) die Bearbeitung des jeweiligen Werkstücks (11) erfolgt.
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