发明名称 A MANUFACTURING METHOD OF A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060048012(A) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 KR20050041861 申请日期 2005.05.19
申请人 RENESAS TECHNOLOGY CORP. 发明人 UEMATSU TOSHIHIDE;MIYAZAKI CHUICHI;ABE YOSHIYUKI;KIMURA MINORU
分类号 H01L21/304;H01L21/78;H01L21/301;H01L21/46 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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