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发明名称 FLEXIBLE TANK AND A CHEMICAL LIQUID SUPPLY APPARATUS USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060047457(A) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 KR20050034311 申请日期 2005.04.26
申请人 KOGANEI CORPORATION 发明人 YAJIMA TAKEO
分类号 B65D83/00;B65D90/26;B05C11/10;B65D90/56;F04B17/00;F04B35/00;F04B43/00;F04B43/02;F04B43/08;F04B43/10;H01L21/027;H01L21/306 主分类号 B65D83/00
代理机构 代理人
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