| 发明名称 | 用于基板沉积腔背衬板的多件式绝缘件 | ||
| 摘要 | 一种用于基板沉积腔背衬板之多件式绝缘件，其具有：数个绝缘片条，每一绝缘片条具有一第一端及第二端；及每一绝缘片条的第一端与一相邻绝缘片条的第二端相配合且被接合至该相邻绝缘片条的第二端，以共同构成一矩形框件。 | ||
| 申请公布号 | CN2780781Y | 申请公布日期 | 2006.05.17 |
| 申请号 | CN200520002795.6 | 申请日期 | 2005.03.18 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | W·N·斯特林 |
| 分类号 | C23C16/00(2006.01);C23C16/513(2006.01) | 主分类号 | C23C16/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陈亮 |
| 主权项 | 1.一种用于基板沉积腔背衬板之多件式绝缘件，其特征是具有：数个绝缘片条，每一绝缘片条具有一第一端及第二端；其中每一绝缘片条的第一端与一相邻绝缘片条的第二端相配合且被接合至该相邻绝缘片条的第二端，以共同构成一矩形框件。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||