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发明名称 SYSTEM FOR HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060045446(A) 申请公布日期 2006.05.17
申请号 KR20050027742 申请日期 2005.04.01
申请人 VIATRON TECHNOLOGIES INC. 发明人 KIM, HYOUNG JUNE;SHIN, DONG HOON
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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