| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR REDUCING ARCING DURING PLASMA PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060046379(A) |
申请公布日期 |
2006.05.17 |
| 申请号 |
KR20050046787 |
申请日期 |
2005.06.01 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC. |
发明人 |
LI HOU;QUNHUA WANG;EDWIN SUM;JOHN M. WHITE |
| 分类号 |
C23C16/505;H01L21/3065;C23C16/00;C23C16/458;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/505 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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