微位移的平面光波导测量方法

摘要

一种微位移的平面光波导测量方法，将激光器发射的激光入射到棱镜，当满足耦合条件后，光进入由沉积在棱镜上的金属膜、空气隙、沉积在光学玻璃片上的金属膜构成的双面金属包覆波导中，利用反射光随空气隙即空气导波层厚度的改变而变化极为敏感的特性，从棱镜底面反射的光强随着光学玻璃片与棱镜的间距改变而变化，通过检测反射光强度的变化量，来测量光学玻璃片相对与棱镜位置的改变，从而得到待测物体位移大小。与现有技术相比，本发明可以广泛应用于大坝、建筑物、地壳的微位移测量。本发明可以实现高灵敏度、快速的实时测量，并且测量方法非常简单。

主权项

1、一种微位移的平面光波导测量方法，其特征在于，将激光器发射的激光入射到棱镜上，当满足耦合条件后，光进入由沉积在棱镜上的金属膜、空气隙、沉积在光学玻璃片上的金属膜构成的双面金属包覆波导中，利用反射光随空气隙即空气导波层厚度的改变而变化极为敏感的特性，从棱镜底面反射的光强随着光学玻璃片与棱镜的间距改变而变化，通过检测反射光强度的变化量，来测量光学玻璃片相对与棱镜位置的改变，从而得到待测物体位移大小。