| 发明名称 |
METHODS AND APPARATUS FOR SUPPORTING SUBSTRATES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20060046373(A) |
申请公布日期 |
2006.05.17 |
| 申请号 |
KR20050046710 |
申请日期 |
2005.06.01 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC. |
发明人 |
WENDELL T. BLONIGAN;CARL SORENSEN;JOHN M. WHITE;ROBIN L. TINER |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/683;B65G1/00;B66C1/00;B66C3/00;H01L21/00;H01L21/68;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
