正型化学放大型光阻组成物

摘要

一种正型化学放大型光阻组成物，其包括交联剂、酸产生剂与本身不溶或难溶于碱性水溶液，但具有在酸的作用下会裂解的保护基的树脂，其中此保护基在裂解后使其转变成可溶于碱性水溶液。此正型化学放大型光阻组成物可维持高敏感度与成膜率，又同时保有高分辨率。

主权项

1.一种正型化学放大型光阻组成物，其特征是，其包括：一(A)交联剂，其中该交联剂包括：化学结构式(I)所示的化合物或其缩合物：式中，R¹～R⁴彼此可为相同或不同，其表示氢原子、具有1到6个碳原子的烷基、具有1到6个碳原子的胺基烷基、具有1到6个碳原子的羟基烷基、具有6到20个碳原子的经取代或未取代的芳基或具有2到6个碳原子的烷氧基烷基；但是，R¹～R⁴之中，至少一个为具有2到6个碳原子的烷氧基烷基；R¹、R²的任一个与R³、R⁴的任一个可彼此结合而形成环状物，或是化学结构式(II)所示的化合物或其缩合物：式中，R⁵～R⁸彼此可为相同或不同，其表示氢原子、具有1到6个碳原子的烷基、具有1到6个碳原子的胺基烷基、具有1到6个碳原子的羟基烷基、具有6到20个碳原子的经取代或未取代的芳基或具有2到6个碳原子的烷氧基烷基；但是，R⁵～R⁸之中，至少一个为具有2到6个碳原子的烷氧基烷基；一(B)酸产生剂，选自磺酸盐化合物；以及一(C)树脂，该树脂包含具有以缩醛基部分的保护酚氢氧基的结构的聚合单元，且该树脂本身为不溶或难溶于碱性水溶液，但具有经由酸的作用下裂解的一保护基，该保护基裂解后该树脂就会转变成可溶于该碱性水溶液，其中以组成物总固体成份量为基准，(A)成分的含量为0.01～10重量百分比、(B)成分的含量为0.1～20重量百分比、(C)成分的含量为70～99重量百分比。