电子束曝光过程实时显示系统

摘要

一种电子束曝光过程实时显示系统。包括输入电源及其旁路电容组单元[1]、单片机控制单元[2]、X、Y模数转换和隔离单元[3]、[4]、串口通讯单元[5]、译码与组合逻辑单元[6]、彩色液晶显示单元[7]。输入电源及其旁路电容组单元[1]为电源供给模块，X模数转换和隔离单元[3]、Y模数转换和隔离单元[4]及彩色液晶显示单元[7]通过数据总线与单片机控制单元[2]相连，单片机控制单元[2]通过地址总线与译码与组合逻辑单元[6]连接，单片机控制单元[2]通过串口通讯单元[5]的RS232串口模式完成对LCD预置图象的下载操作。本发明可持续显示清晰图象，可通过图象诊断电子束曝光机图形发生器输出的主场扫描D/A，工件台位置偏差补偿(LBC)和旋转场D/A等信号的实际矫正的综合作用状况。

主权项

1、一种电子束曝光过程实时显示系统，其特征在于它由输入电源及其旁路电容组单元[1]、单片机控制单元[2]、X模数转换和隔离单元[3]、Y模数转换和隔离单[4]、译码与组合逻辑单元[5]、串口通讯单元[6]、彩色液晶显示单元[7]等7个部分组成；输入电源及其旁路电容组单元[1]中JP-POWER插座的第一管脚与单片机控制单元[2]、X模数转换和隔离单元[3]、Y模数转换和隔离单元[4]、串口通讯单元[5]、译码与组合逻辑单元[6]中芯片U1～U8的+5V电源输入管脚连接；JP-POWER插座的第三管脚与X模数转换和隔离单元[3]、Y模数转换和隔离单元[4]中的模数转换芯片AD571的-15V电源输入管脚连接；JP-POWER插座的第五管脚与彩色液晶显示单元[7]第18、19、20管脚连接；X模数转换和隔离单元[3]、Y模数转换和隔离单元[4]通过U4、U5的B端数据线D7～D0与单片机控制单元[2]的数据总线连接；单片机控制单元[2]通过U1第4管脚与X模数转换和隔离单元[3]中U2、Y模数转换和隔离单元[4]中U3的第11管脚相连接；U8输出引脚1连接U1的5脚，U7的6脚连接U8的5脚，单片机控制单元[2]的16脚连接U8的6脚，U8的输出引脚4连接彩色液晶显示单元[7]中J7的13脚；译码与组合逻辑单元[6]通过高位地址线A15、A14与单片机控制单元[2]中U1的第27、28管脚连接，作为译码和组合逻辑单元[6]的信号输入端；译码与组合逻辑单元[6]中U7的第4、5管脚依次连接X模数转换和隔离单元[3]中U4、Y模数转换和隔离单元[4]中U5的第19管脚；译码与组合逻辑单元[6]中U7的第6管脚要和单片机控制单元中U1的第16管脚依次接入译码与组合逻辑单元[6]中U8第5、6管脚；U8输出端4接彩色液晶显示单元[7]输入端13；译码与组合逻辑单元[6]中U8输入端2、3与X模数转换和隔离单元[3]中U2、Y模数转换和隔离单元[4]中U3第17管脚连接；U8输出端1连接到单片机控制单元[2]中U1第5管脚。