发明名称 一种制备高产量掺铟氧化锌纳米盘的方法
摘要 本发明提供了一种制备高产量掺铟ZnO纳米盘的方法,属于纳米材料制备技术领域。具体工艺为:将硅(100)基片用去离子水和酒精分别冲洗干净,作为沉积基片;将Zn粉、In<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>粉和C粉按摩尔比Zn∶In<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>∶C=1∶1∶2~3∶1∶2混合,充分研磨均匀并将其置于瓷舟中,研磨时间20~30分钟,之后将硅基片倒扣于瓷舟上;把瓷舟放入管式炉中的石英管中部,调节流量计向管中通入氩98%/氧2%混合气体300标准立方厘米/分钟。在此气氛下将管式炉升温至870~900℃并保温20~25分钟,冷却至室温,所得产品是掺铟氧化锌纳米盘。本发明的优点在于:首次制备出In/ZnO六边形纳米盘和十二边形纳米盘,在没有催化剂的条件下,实现了大范围的可控生长。
申请公布号 CN1772625A 申请公布日期 2006.05.17
申请号 CN200510086564.2 申请日期 2005.10.08
申请人 北京科技大学 发明人 张跃;刘娟;黄运华;贺建;齐俊杰;张晓梅;廖庆亮
分类号 C01G9/02(2006.01);B82B3/00(2006.01) 主分类号 C01G9/02(2006.01)
代理机构 北京科大华谊专利代理事务所 代理人 刘月娥
主权项 1、一种制备高产量掺铟ZnO纳米盘的方法,其特征在于:具体工艺为:a、将硅(100)基片用去离子水和酒精分别冲洗干净,作为沉积基片;b、将Zn粉、In2O3粉和C粉按摩尔比Zn∶In2O3∶C=1∶1∶2~3∶1∶2混合,研磨20~30分钟,充分研磨均匀并将其置于瓷舟中,之后将硅基片倒扣于瓷舟上;c、把瓷舟放入管式炉中的石英管中部,调节流量计,向管内通入氩、氧混合气体,混合气体中氩为95%~99%,氧为1%~5%;通气速度为200~300标准立方厘米/分钟;在此气氛下将管式炉升温至870℃~900℃并保温20~25分钟;所得产品为掺铟氧化锌六边形纳米盘和十二边形纳米盘。
地址 100083北京市海淀区学院路30号
您可能感兴趣的专利