发明名称 局部放电减少的绝缘功率半导体模块及制造方法
摘要 描述了一种用于组装局部放电行为减少的功率半导体模块的方法。该方法包括以下步骤:将绝缘衬底接合到底板(11)上;在所述绝缘衬底(2)的一部分上设置第一导电层(4),使得所述绝缘衬底(2)的至少一个周边顶部区域保持不被所述第一导电层(4)覆盖;将半导体芯片(6)接合到所述第一导电层(4)上;在由所述第一导电层(4)和所述绝缘衬底(2)的所述周边区域形成的第一拐角(24)设置第一绝缘材料(5)的前体(51);聚合所述第一绝缘材料(5)的前体(51)以形成所述第一绝缘材料(5);至少部分地利用第二电绝缘材料(8)覆盖所述半导体芯片(6)、所述衬底(2)、所述第一导电层(4)以及所述第一绝缘材料(5)。根据本发明,所述第一绝缘材料(5)的前体(51)是低粘度的单体或低聚体,其在聚合时形成聚合物。还公开了一种局部放电行为减少的半导体模块。
申请公布号 CN1774801A 申请公布日期 2006.05.17
申请号 CN200480009083.5 申请日期 2004.04.01
申请人 ABB研究有限公司 发明人 阿米纳·哈米迪;沃尔夫冈·克纳普;勒克·迈森奇;赫尔穆特·克泽尔
分类号 H01L23/24(2006.01);H01L23/373(2006.01);H01L23/498(2006.01) 主分类号 H01L23/24(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 徐谦;杨红梅
主权项 1.一种用于组装功率半导体模块的方法,包括以下步骤:在电绝缘衬底(2)的顶部表面的至少一个部分上设置第一导电层(4),使得所述电绝缘衬底(2)的至少一个周边顶部区域保持不被所述第一导电层(4)覆盖;在由所述第一导电层(4)和所述电绝缘衬底(2)的所述周边区域形成的第一拐角区(24)设置第一电绝缘材料(5)的前体(51);聚合所述第一电绝缘材料(5)的前体(51)以形成所述第一电绝缘材料(5);将半导体芯片(6)接合到所述第一导电层(4)上;将所述电绝缘衬底(2)接合到底板(11)上;至少部分地利用第二电绝缘材料(8)覆盖所述半导体芯片(6)、所述电绝缘衬底(2)、所述第一导电层(4)以及所述第一电绝缘材料(5);特征在于:所述第一电绝缘材料(5)的前体(51)是当聚合时形成聚合物的低粘度的单体或低聚体,并且少量的所述前体(51)被施加到所述第一导电层(4)和所述电绝缘衬底(2)的所述周边区域的交界处。
地址 瑞士苏黎世